Turbomolekuliniai siurbliai - Plenum.lt
15855
page-template-default,page,page-id-15855,page-child,parent-pageid-15740,ajax_fade,page_not_loaded,,vertical_menu_enabled,qode-theme-ver-13.8,qode-theme-bridge,disabled_footer_bottom,wpb-js-composer js-comp-ver-5.4.7,vc_responsive

Turbomolekuliniai siurbliai

Turbomolekulinio siurblio sistema, YTP

 

 

Aukšto vakuumo siurblio sistema, pasižymi mažu triukšmu, maža vibracija ir turbomolekuliniu siurbliu su keramikiniu rutuliniu guoliu. Paprastas, lengvai skaitomas jutiklinis ekranas, patogus valdymas.

 

Savybės

 

  • Mažas triukšmas

Veikimo garsas ir vibracija sumažinami operacijos metu

Ne daugiau kaip 43dB(A) esant didžiausiam slėgiui

(Matuojama pagal ULVAC standartą IFC flanšo tipui)

  • Patogus valdymas

Paprastas valdymas, lengvai skaitomas jutiklinio skydelio ekranas

  • Slėgio indikacija

Galima lengvai integruoti iki 2 vakuumo indikatorių

 

Panaudojimas

 

  • Dujų šalinimo sistema įvairiai eksperimentinei ir R&D įrangai
  • Dujų šalinimo sistema nuo atmosferos slėgio iki didelio vakuumo
  • Pagrindinė dujų šalinimo sistema aukštam vakuumui

 

Siurbimo greitis: N2 – 252 m3/h; He – 216 m3/h; H2 – 252 m3/h

Vakuumo gylis 10-8 mbar

 

Parsisiųsti

Turbomolekulinis siurblys UTM-FH, FW serijos

 

 

UTM-FH ir UTM-FW yra sudėtiniai turbomolekuliniai įrenginiai, naudojantys 5 ašių magnetinę levitaciją ir valdomi skaitmeniniu būdu. Privalumai – didelis našumas ir patikimumas bei energijos taupymas. UTM-FH serija, kuri pagerino vandenilio suspaudimo laipsnį, yra aukšto priešslėgio ir aukšto suspaudimo tipo, taip pat skirta lengviems ir vidutiniams procesams. UTM-FW serija yra plataus diapazono ir didelio našumo, skirta didelėms apkrovoms ir nuo vidutinio iki sunkaus proceso.

 

Savybės

 

  • Galimi variantai nuo 350 l/s iki didžiausio pasaulyje 6300 l/s (skaitmeninio magnetinio valdymo guolio tipas).
  • Išlaikomos stabilios siurbimo savybės atsižvelgiant į priešslėgio pokyčius (FH serija).
  • Papildoma vidinė šildymo sistema rotoriaus temperatūrai kontroliuoti ir sumažinti šalutinių produktų reakcijai (FW serija).
  • Puikus antikorozinis paviršiaus apdorojimas (išskyrus 3303FH ir 6300FH). Prireikus galima atlikti specialų paviršiaus apdorojimą (pvz., Nikeliavimas + katijoninis elektrodažymas, speciali nusodinta plėvelė, aliuminio anodavimas).
  • Montuojamas visomis kryptimis.
  • Kintamo greičio sistema leidžia keisti siurbimo greitį nuo 25% iki 100%.
  • Nėra jokių apribojimų derinti maitinimo šaltinį ir pagrindinį siurblio įrenginį, norint pakeisti laido ilgį, naudojama laisvo sujungimo mova.
  • Savaiminė energija generuojama naudojant regeneracinę energiją, ji naudojama atsarginiam energijos tiekimui nutrūkus energijos tiekimui, naudojant sistemą be akumuliatoriaus. Varginantis akumuliatoriaus keitimas nėra būtinas.
  • Integruotos stebėjimo / savidiagnostikos ir ryšio funkcijos leidžia konfigūruoti centralizuotą stebėjimo sistemą.
  • Saugi, energiją sugerenti konstrukcija gali sumažinti vakuuminės sistemos žalą gedimo atveju.
  • Didelis patvarumas ir didelis patikimumas buvo realizuotas atliekant tokius bandymus, kaip oro pagreitėjimo bandymai, įvairūs patvarumo testai, priverstinis rotoriaus sunaikinimo testas ir pašalinių medžiagų kritimas (Si plokštelių kritimas).

 

Pritaikymas

 

  • [UTM-FH serija]
  • Pagrindinis dujų šalinimas atliekant lengvus ir vidutinius procesus, tokius kaip garinimas, purškimas, sausas ėsdinimas ir tt, kur nėra šalutinių reakcijų šalutinių produktų
  • Analitinių instrumentų siurbimo sistema, tyrimų ir plėtros sistema, laboratorinė įranga ir kt.
  • Siurbimo sistema įrenginiams ir sistemoms, skirtiems lengvosioms dujoms, tokioms kaip H2 ir He
  • Keli turbo molekuliniai siurbliai su centralizuota atgalinio siurblio konfigūracija
  • [UTM-FW serija]
  • Pagrindinis dujų šalinimas iš vidutinių ir sunkių procesų, tokių kaip sausas ėsdinimas, CVD sistema ir kt.
  • Didelio srauto dujų šalinimas sausam ėsdinimui, CVD sistema, purškimo sistema ir kt.
  • Pagrindinis dujų šalinimas analizės priemonėse, tyrimų ir plėtros sistemos, laboratorinės įrangos ir kt.

Siurbimo greitis: N2 1.188-22.680 m3/h; H2 1.116-18.000 m3/h

Vakuumo gylis 10-10 mbar

 

Parsisiųsti

Turbomolekulinis siurblys, UTM serijos

 

 

UTM seriją pristato mentelinis turbomolekulinis siurblys, turintis šarnyrinį guolį (apačioje) ir magnetinį guolį (viršuje). Esant aukštiems apsisukimams, mechaninis kontaktas sumažėja dėl šarnyrinio guolio. Be to, yra maža vibracija ir didelis suspaudimo laipsnis.

 

Savybės

 

  • Magnetinis guolis buvo panaudotas kaip viršutinė dalis, šarnyrinis guolis – kaip apatinė dalis, o mechaninis kontaktas aukštų apsisukimo metu yra pašalintas. Tokiu būdu guolių keitimas ir tepalo keitimas yra nereikalingi ir prailgina guolio eksploatavimo laiką.
  • Puikus dinaminis balansinis rotorius ir labai efektyvus guolis, originali menčių konstrukcija, sukuria mažos molekulinės masės dujų, tokių kaip H2 ir He, aukštą suspaudimo laipsnį.
  • Šarnyrinis guolis ir fluoro alyva (alyva, kurios sočiųjų garų slėgis yra chemiškai stabilus ir žemas) sukuriama aplinka kur alyvos kiekis artimas nuliui. Galima pasiekti švarų, ypač aukštą vakuumą.
  • Pasirinkus puikų dinaminį balansinį rotorių ir labai efektyvų guolį, sukuriamas mažas triukšmas ir maža vibracija.

 

Panaudojimas

 

  • Pagrindinės siurbimo sistemos analizės įrangai, tyrimų ir plėtros įrangai bei eksperimentiniams įrenginiams.
  • Pagrindinė siurbimo sistema mažos molekulinės masės dujos, tokių kaip H2 ir He.
  • Pagrindinės siurbimo sistemos analizės įrangai ir vertinimo įrangai, kuri yra jautri vibracijai

Siurbimo greitis: N2 180-1.980 m3/h; H2 144-1.800 m3/h

Vakuumo gylis 10-10 mbar

 

Parsisiųsti